生產(chǎn)絕緣膜的涂料
本發(fā)明涉及一種生產(chǎn)絕緣膜的涂料組合物，一種使用該涂料組合物制備低電介絕緣膜的方法，由其得到的用于半導體器件的低電介絕緣膜和包括該絕緣膜的半導體器件，更具體地說，本發(fā)明涉及一種生產(chǎn)具有低電介常數(shù)絕緣膜而且能夠生產(chǎn)優(yōu)異機械強度(彈性)絕緣膜的涂料組合物，使用該涂料組合物制備低電介絕緣膜的方法，由其得到的用于半導體器件的低電介絕緣膜，和包括該絕緣膜的半導體器件。本發(fā)明的涂料組合物包括小分子量的有機硅氧烷樹脂和水，可顯著改進絕緣膜的低介電性和機械強度。
